神奈川県|MDCOMの真空VUVエキシマ表面改質技術

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MDCOMの真空VUVエキシマ表面改質技術


エキシマ洗浄は、TFT液晶ガラス基板の湿式前洗浄や成膜行程の洗浄などにはなくてならない技術として広く利用されている。エキシマVUV光は短い波長の真空紫外光で、ほとんどの有機物の原子間結合力を直接切断する高いエネルギー有している。単一波長で余分な光が放射されないためワーク表面の温度を低くでき、表面損傷の少ない処理が可能であるなどの特徴により、近年、フイルム、紙、ゴムなどの表面改質技術としても注目されてきている。
 通常 エキシマ洗浄、エキシマ表面改質は大気中で行われることが多いが、これは被処理物の分解と同時に、大気中の酸素より生成されるオゾンと活性酸素が重要な役割をするからである。化学反応式を下記に示す。

 O2+hv(172nm) → O(1D)
 O2+hv(172nm)→ O3+hv(172nm)→ O(1D)   H2O、CO、CO2
 CmHnOk+ hv(172nm)→C,H,O,